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标準平面鏡

光學标準平面是(shì)一(yī / yì /yí)個(gè)經過精密抛光的(de)表面。它作爲(wéi / wèi)參考面,可對未知表面進行比較檢測。對抛光表面的(de)面形測量是(shì)靠被測面與參考面之(zhī)間的(de)條紋彎曲量來(lái)确定的(de)。這(zhè)些标準鏡可用于(yú)許多方面,如:測量塊規的(de)磨損和(hé / huò)精度,測量窗口、棱鏡、濾色片和(hé / huò)反射鏡等各種元件的(de)面形精度。它們也(yě)可作爲(wéi / wèi)幹涉儀中的(de)标準平面鏡。


技術指标

材料

H-K9L

H-K4

石英玻璃

折射率( 587.6nm )

1.5168

1.5080

1.4586

阿貝數 (νd)

64.20

61.05

68.00

比重 ( 克 / 立方厘米 )

2.52

2.43

2.21

線膨脹系數 (-60℃ +20℃)

66x / ℃

42x / ℃

2.1x / ℃

表面精度等級

λ /10 和(hé / huò) λ /20

λ /10 和(hé / huò) λ /20

λ /10 和(hé / huò) λ /20

後表面精度等級

λ

λ

λ

平行度

5-10 分

5-10 分

5-10 分

有效口徑

>90% 中心區域

>90% 中心區域

>90% 中心區域

倒角

1.0x45°

1.0x45°

1.0x45°



面形精度等于(yú)幹涉條紋的(de)彎曲量比上(shàng)條紋間距


理想狀态的(de)被檢測平面
幹涉條紋直、彼此平行、多紋間距相等表示被測面的(de)面形精度好或等于(yú)參考平面的(de)面形精度。


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